반도체 제조의 FEOL(front-end-of-line) 공정에서 웨이퍼는 다양한 처리 단계를 거치며, 특히 엄격한 요구 사항에 따라 특정 온도로 가열됩니다. 온도 균일성은 제품 수율에 결정적인 영향을 미치기 때문입니다. 또한, 반도체 장비는 진공, 플라즈마, 화학 가스가 존재하는 환경에서 작동해야 하므로 세라믹 히터를 사용해...
질화알루미늄(AlN)는 화학식 AlN을 사용하여 [AlN으로 구성된 공유 결합 질화물입니다.₄] 사면체를 구조 단위로 사용합니다. 육각형 결정계에 속하며 저분자량, 강한 원자결합, 단순한 결정 구조 등의 특성을 가지고 있습니다.구조 및 높은 격자 진동 조정. AlN은 고유한 결정 매개변수로 인해 높은 열 전도성, 고강도...
질화알루미늄 세라믹은 열전도율이 매우 높고, 전기절연성 및 기계적 강도가 우수한 고성능 엔지니어링 세라믹입니다. 열전도율은 알루미나 세라믹의 10배 이상인 320W/m-K에 도달할 수 있고 전기 절연성은 10^13Ω-cm 이상이며 굽힘 강도는 350MPa에 도달할 수 있습니다. 이러한 특성으로 인해 질화알루미늄 세라믹은 고온...
질화알루미늄 분말은 높은 열전도율과 절연성을 갖고 있어 열전도성 계면재료에 첨가하면 재료의 열전도율을 크게 향상시킬 수 있습니다. AlN은 좋지만 단점이 있습니다. 흡수가 매우 쉬운 재료입니다. 수분과 산소가 수분과 산소와 접촉하면 가수분해 및 산화되어 열전도율과 열 성능 특성의 소산을 잃게 됩니다. 그리고...
11월 21일 월요일 - 11월 23일 수요일: 오전 9시 - 오후 8시 11/24 목요일: 휴무 - 즐거운 추수감사절 보내세요! 11월 25일 금요일: 오전 8시 - 오후 10시 11월 26일 토요일 - 11월 27일 일요일: 오전 10시 - 오후 9시 (모든 시간은 동부 표준시 기준)