질화알루미늄(AlN) 성능은 순도, 특히 산소(O), 탄소(C) 및 금속 불순물(Fe, Na 등)의 함량에 크게 좌우됩니다.산소 불순물 → Al₂O₃ 또는 AlON 상을 형성하여 열전도도를 크게 감소시킵니다(산소가 1% 증가할 때마다 열전도도는 10~20 W/(m·K) 감소합니다).금속 불순물 → 반도체 소자의 캐리어 이동도를 저하시켜 성능을 저...
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